SpecEl 椭偏仪 Nano Calc 薄膜反射測量系統
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SpecEl 椭偏仪
SpecEl椭偏仪通过测量基底反射的偏振光，进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。SpecEl通过PC控制来实现折射率，吸光率及膜厚的测量。
技术参数
波长范围:
380-780 nm (标准) 或450-900 nm (可选)
光学分辨率
4.0 nm FWHM
测量精度
厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%
入射角
70°
膜厚
单透明膜1-5000 nm
光点尺寸
2 mm x 4 mm (标准) 或 200 µm x 400 µm (可选)
采样时间
3-15s (最小)
动态记录
3 seconds
膜层数
至多32层
参考
不需要
产品特点：
• 可直接得到光学参数、n值（折射率）、k值（吸收率）及厚度，并可作在线即时测量
• 可作各光学参数的整理归档，并以各种不同模 式输出
• 非接触式测量，不刮伤损坏测试样品
• 体积小巧：由高性能的微型光纤光谱仪构成分 光逐渐，体积小巧
• 使用简单方便：由计算机控制测量，只需按一 个按键，即可完成薄膜特性检测
http://www.oceanoptics.com/products/specel.asp